Machine de nettoyage au plasma sous vide en ligne

Numéro de modèle: VPC3i

Fabricant: Beijing Torch SMT Incorporated Company

I. Nom de l'équipement, numéro de type, origine et date de livraison

1. Nom de l'équipement: Machine de nettoyage au plasma sous vide en ligne.

2. Numéro de modèle: VPC3i.

3. Origine (pays, fabricant): Beijing Torch SMT Incorporated Company.

4. Date de livraison: 4-8 semaines après l'entrée en vigueur du contrat.

5. Principalement utilisé pour le processus de traitement de surface au plasma dans les domaines des boîtiers semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium, les substrats en verre, les substrats en céramique, les plaques de support IC, les grilles de connexion en cuivre, les cartes d'alimentation à substrat simple face de grande taille, les modules IGBT, les capteurs MEMS avec fixation, dispositif à micro-ondes, filtre, appareil RF, etc.

II. Principaux paramètres de performance technique:

1. volume of vacuum chamber: 3L

2. Degré de vide:

Le degré maximal de Nettoyer de plasma sous vide VPC3i est inférieur à 10 PA (pompe à sec mécanique 8L)

3. Zone de nettoyage efficace:

Zone de nettoyage unique: 350 * 100 * 85mm

Fréquence du plasma: 13,56 Hz 300W RF (traitement en volume, avec refroidissement par eau)

4. Hauteur de la chambre à vide:

Hauteur four: 100mm (taille efficace)

5. Température de nettoyage:

Nettoyage à basse température (en dessous de la température ambiante).

6. Fréquence de nettoyage: 30-120s

7. Effet de nettoyage: La valeur DYNE peut atteindre 70. L'angle de chute d'eau est de 15 degrés, et il peut être contrôlé de manière optimale à moins de 10 degrés (atelier avec propreté d'air à la classe 100 sans poussière peut être nettoyé dans les 4 heures)

8. Le gaz peut être utilisé:

Argon, azote, oxygène, mélange d'hydrogène azote, hydrogène et acide formique, etc.

9. La machine de nettoyage au plasma VPC3I sous vide est équipée d'un système de contrôle du logiciel:

Le système de contrôle du logiciel est facile à utiliser, sa connexion d'équipement de contrôle des énables et diverses courbes de processus de nettoyage peuvent être définies et les courbes peuvent être définies, modifier, stocker et sélectionner pour une utilisation selon différents processus; Le logiciel a sa propre fonction d'analyse, qui peut analyser la courbe de processus. Le système de contrôle du logiciel enregistrera automatiquement le processus de nettoyage, la courbe de température, le temps et les données liées à l'alarme en temps réel pour assurer la traçabilité du processus de nettoyage des produits.

10. L'équipement n'a pas besoin d'être calibré, donc aucun frais d'étalonnage ne se produira

11. Consomation d'Énergie opérationnelle: 2.2kw, à l'exclusion de la consommation d'énergie de refroidisseur

12. La fonction de l'alarme de température excessive et de l'enregistrement. (Standard de configuration)

La machine de nettoyage du plasma à vide VPC3I est fonctionnée avec la surface de la pièce sur la protection de la température, l'alarmant, la protection contre la sécurité de la température et l'enregistrement de toute la machine pendant le processus de nettoyage.

13. Les systèmes d'azote, d'argon et d'autres systèmes de gestion et d'analyse du flux (logiciel + matériel). (optionnel)

La machine de nettoyage du plasma sous vide VPC3I est fonctionnée par la gestion en temps réel et l'analyse des gaz de processus tels que l'azote et l'argon consommés par toute la machine, et peut enregistrer et analyser la consommation de gaz, la consommation quotidienne, la consommation hebdomadaire et la consommation de temps différentes de la période en temps réel.

14. Traiter la fonction d'alarme de pression de gaz et le système d'analyse (logiciel + matériel). (optionnel)

La machine de nettoyage du plasma sous vide VPC3I est fonctionnée par alarme sous-tension, enregistrement et analyse de la source de gaz de processus dans le processus de production de toute la machine, ce qui est très utile pour la traçabilité de la qualité du produit.

15. Système de gestion et d'analyse de l'énergie (logiciel + matériel). (optionnel)

La machine de nettoyage du plasma sous vide VPC3I est fonctionnée par la gestion et l'analyse en temps réel de la consommation d'énergie, et peut analyser l'enregistrement de la consommation d'énergie en temps réel, de la consommation d'énergie quotidienne, de la consommation hebdomadaire d'énergie, de la consommation d'énergie de la période, etc.

16. Système de gestion et d'analyse Contient de L'Oxygène (logiciel + matériel) (OptionNel)

La machine de nettoyage du plasma sous vide VPC3I est fonctionnée par la gestion et l'analyse en temps réel de Continent de L'Oxygène dans la chambre à vide de toute la machine. Il peut analyser, enregistrer et analyser la valeur PPM de Continent de L'Oxygène en temps réel pour la traçabilité et l'analyse de la qualité des produits.

17. Mon sous-système (logiciel + matériel) interface de données. (facultatif)

La machine de nettoyage du plasma sous vide VPC3I est également fonctionnée par mon interface de données de l'ensemble de la machine, et le système MES peut être sélectionné et configuré pour effectuer diverses acquisitions et analyses de données de l'équipement intelligent.

18. Dimensions globales:

550 * 1260 * 1480mm (excluding alarm light)

19. Structure interne:Voir la bonne figure

III. Composition et configuration de base: